能源管理

Q: 何以層流系統之HEPA必需佈滿?其原理為何?不佈滿會有何情形產生?其氣流該如何控制與量測?

層流系統常在潔淨等級class 1000或更嚴格潔淨室採用,以持續供給單一方向垂直或水平潔淨氣流,來降低室內微粒子或微生物的濃度,以利提升製造微晶片良率和無菌濃縮藥品。當HEPA出風口因工程經費有限,而無法佈滿天花板時(詳圖一),乾淨氣流本身會形成紊流,結合設備運轉散熱和人員操作時塵粒或細菌飛揚等效應,進而污染潔淨空氣。改善方法可用乾冰或有色氣體量測氣流在潔淨室內流動情況,推測並改善回風地板數量及位置,將受污染空氣帶離潔淨室,由天花板下來潔淨空氣將可恢復室內潔淨要求。此項改善工作宜在運轉投產前進行,以免影響正常商業運轉。

 

圖一:


 流出HEPA潔淨空氣風速情形,HEPA之間無潔淨氣流,即產生微弱紊流現象
,且隨著垂直距離逐漸擴大,可藉調整回風板位置和數量,改善紊流現象。